氣體質量流量控制器的流量測量以及控制是不會受到溫度以及壓力的影響的，跟傳統的設備來比較，是不需要配置溫度、壓力的變送器，也不需要進行溫度、壓力的補償就可以直接測量質量流量。如果需要保持氣體和混合氣體作為混料或者是配料，又或者是進行優化化學反應的過程，那么氣體質量流量控制器就能夠很好的完成這一門技術。想要的控制氣體的給定量，那么在很多過程中是對流量控制要求較高的工藝比較有用。如果是很寬的工作壓力范圍，氣體質量流量控制器可以適用于多種氣體介質，并且還有很寬的流量方法。

　　氣體質量流量控制器的原理是什么？

　　氣體質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與氣體質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源，數字電壓表，設定電位器，外設、內設轉換和三位閥控開關等。

　　氣體質量流量控制器的主要優點是什么？

　　(1)流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準。

　　對于多數流量測控系統而言，很難避免系統的壓力波動及環境和介質的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導致較大的誤差；對于氣體質量流量控制器看完這些一目了然則一般可以忽略不計。

　　(2)測量控制的自動化

　　氣體質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示﹑累積流量自動計量﹑數據自動記錄﹑計算機管理等。對氣體質量流量控制器而言，還可以實現流量的自動控制。通常，模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA，數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口，能非常方便地與計算機連接，進行自動控制。

　　(3)地定量控制流量

　　氣體質量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。

　　(4)適用范圍寬

　　有很寬的工作壓力范圍，我們的產品可以從真空直到10MPa;可以適用于多種氣體介質（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產品小流量范圍可達0～5sccm，大流量范圍可達0～200slm。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%，流量控制范圍是滿量程的2~100%(量程比為--50:1)，因此氣體質量流量控制器在很多領域得到廣泛應用。